Mikrobauteile in der Optik

Eine Welt ohne mikro- und nanostrukturierte optische Bauteile ist für uns alle nicht mehr vorstellbar. Wir liefern Key-Komponenten für die 3D-Sensorik, optische Messtechnik und industrielle Automation an Serienkunden weltweit.

Die optischen Systeme unserer Kunden werden durch Mikro- und Nanooptiken effizienter, leistungsfähiger und präziser. Ob Structured Light, Antireflexion oder Raumwinkelfilter – die Anwendungsfelder mikrooptischer Systeme sind breit gefächert.

Key-Komponenten für 3D-Sensorik, optische Messtechnik und industrielle Automation | Optics

Mikrostrukturen in optischen Anwendungen

Wafer Level Optics

Microlinsen Arrays in hohen Stückzahlen auf Wafer-Level-Ebene

>Wafer Level Optics
Raumwinkelselektive Elemente

Winkelabschottung für definierte Raumwinkel mittels ultradünner Folie

>Raumwinkelselektive Elemente
AR-Mottenaugenstrukturen

Breitband-Antireflex über weite Winkel mit nur einer Schicht

>AR-Mottenaugenstrukturen
Optische Gitter

Linien- und Kreuzgitter bis sub-µm auf bis zu 1m² Fläche

>Optische Gitter
Optische Präzisionsteile

Gratfreie Hochpräzisionsbauteile wie Schlitz- und Lochblenden als Alternative zum Metallätzen

>Optische Präzisionsteile
Katrin Christiani

Product Manager Optics

Wafer Level Optics

Mikrolinsenarrays (MLA) in hohen Stückzahlen

Die Replikation mittels UV-Imprint-Verfahren auf Wafer-Level ermöglicht die kosteneffiziente Produktion hoher Stückzahlen. Vor allem Mikrolinsenarrays (MLA) mit sphärischen oder asphärischen Linsengeometrien werden dabei für die 3D-Sensorik eingesetzt, um eine automatisierte Gesichts- oder Bauteilerkennung nach dem Structured Light Prinzip zu gewährleisten.

bis zu

45.000

Linsen/mm²
bis zu

100%

Füllfaktor
weniger als

10nm

Ra Rauheit

Winkelselektive Elemente

Winkelabschottung für definierte Raumwinkel

Die Kombination Linse – Pinhole ist in der Optik altbewährt. temicon hat dieses Prinzip in die Mikrooptik transferiert und ist in der Lage, Folien mit weniger als 400µm Dicke herzustellen, die eine definierte Winkelabschottung erzeugen.

Jeder Mikrolinse ist dabei ein Pinhole zugeordnet, das sich im Fokuspunkt der Linse befindet. Die hohe Oberflächengüte und die extrem geringen Toleranzen bei der Ausrichtung der Pinholes ermöglichen die effiziente Filterung definierter Raumwinkel. Anwendung findet diese Folie unter anderem in der industriellen Messtechnik.

weniger als

0,4mm

Stack-Dicke
bis zu

90%

Transmission
weniger als

50µm

kleinster Linsendurchmesser

Mottenaugenstrukturen

Breitband-Antireflex über weite Winkel mit nur einer Schicht

Für viele optische Anwendungen ist eine geringe Reflexion und damit eine erhöhte Transmission erforderlich.

Aus der Natur kopiert bietet die temicon-eigene Antireflexstruktur nach dem Mottenaugenprinzip viele Vorteile gegenüber Dünnschicht-Antireflexbeschichtungen. Sie wirkt breitbandig über das gesamte sichtbare Spektrum. Sie hat weite Akzeptanzwinkel. Es ist nur ein einziger Schichtauftrag notwendig. Sie erhöht die Transmission von Glas in Luft von etwa 90% auf bis zu 99,5%. Anwendungsbeispiele finden sich in der Displaytechnik und in der Sensorik.

weniger als

0,2%

Reflexion
circa

0,5%

Reflexion bei AOI 45°
nur

1

Schichtauftrag notwendig

Optische Gitter

Linien- und Kreuzgitter bis sub-µm auf bis zu 1m² Fläche

Von einigen 10µm bis 200nm bietet temicon optische Gitter in großer Vielfalt an.

Ob Liniengitter, Kreuzgitter oder hexagonales Gitter ist die Ausrichtung und Anordnung dabei variabel. Die interferenzlithografische Herstellung der Gitter ermöglicht dabei die Belichtung von Gittern bis zu ca. 1m² Fläche mit einer Belichtung. Mittels R2R-Prozessen können extrem Große Flächen dieser Gitter repliziert werden. Angewendet werden sie u.a. in LED/OLED-Displays, in der optischen Datenübertragung, der optischen Messtechnik sowie in der Verpackungsindustrie.

bis zu

1

Belichtungsfläche
minimal

200nm

Pitch
bis zu

20m/min

R2R-Geschwindigkeit

Optische Präzisionsteile

Gratfreie Hochpräzisionsbauteile wie Schlitz- und Lochblenden

Dort, wo Metallätzen aufhört, fängt Galvanoformung an. Die galvanische Prozessierung ermöglicht höchstmögliche Genauigkeit in der Herstellung von Metallpräzisionsteilen.

Die gratfreie Herstellung der Teile, verbunden mit den unerreicht kleinen Bauteiltoleranzen schafft einen erheblichen Mehrwert für ihr Produkt. Ob Schlitzblende, Lochblende oder Encoderscheibe – mit dem LIGA-Verfahren bietet temicon Produkte für all diese Anwendungsfälle an.

minimal

2µm

Strukturgröße
minimal +/-

500nm

Toleranz
zu

100%

gratfrei